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雷射輔助碳化矽晶圓快速拋光技術 - 機械工業網

晶圓製造（切割、研磨及拋光等）部分，雖有製造廠（環球晶、漢磊及太極等）及設備商（創技、世極、凱勒斯）投入，但使用傳統機械加工與國外進口設備並進 ...

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