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研光用複合式樹酯基銅盤之分析與開發 - 政府研究資訊系統GRB

主管機關行政院國家科學委員會. 研究期間10111 ~ 10210 ... 英文關鍵字single crystal sapphire wafer； resin copper plate； lapping； wafer planarized；.

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