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半導體「天車」國產化廣運、均豪、盟立等搶進 - 經濟日報
據了解,「天車」原始專利屬於美商,後被日本神鋼公司收購並繼承專利。2009年8月日本村田機械無塵室自動化(Clean FA)事業部門與神鋼合併,成立村田 ...
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