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亞太優勢林敏雄： 串連台灣MEMS產業鏈 - 工業技術研究院

結合電子與機械於一身的MEMS元件，具備感知、致動、運算等功能，一般熟知的加速度計、陀螺儀、壓力感測器、矽麥克風，應用範圍遍及資通訊、製造、運輸及消費性電子等 ...

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