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先端技術與產業鏈自主發展計畫」 (核定版) - 經濟部

計畫名稱：Å 世代半導體-先端技術與產業鏈自主發展計畫 ... 台灣電鏡開發電子束掃描檢測及缺陷分析設備，可進行晶圓在切割前後的.

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