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反間接尺寸
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直流磁控濺鍍機之仿真系統及均勻度改善探究
而調控電漿濃度及分布範圍,間接提升基材塗布均勻度,使之達到精進的目標。 關鍵字:碰撞、磁控濺鍍系統、電場、 ... 表2-1 三吋直流磁控濺鍍系統架構尺寸與相關位子.
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