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rie icp 原理反應離子刻蝕（RIE/ICP-RIE） - Doisof

反應離子刻蝕（RIE/ICP-RIE）. 產品介紹反應離子刻蝕(Reactive Ion Etching， RIE)是指在平板電極間施加射頻電壓，通過產生的等離子體對樣品進行化學和物理刻蝕。

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