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【蚀刻升级篇】剖析干蚀刻和湿蚀刻的作用、制程及其原理 - 网易

干蚀刻：利用不易被物理、化学作用破坏的物质光阻来阻挡不欲去除的部分，利用电浆的离子轰击效应和化学反应去掉想去除的部分，从而将所需要的线路图形 ...

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