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北美智權報第105期：原子層蝕刻技術從實驗室走入晶圓廠

雖然已經應用在半導體產業中將近40年，連續式的沉積和蝕刻技術還是因為它們的製程原理而在本質上無法相當精確。通常情況下，所有的反應物會被同時引入 ...

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