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乾蝕刻原理

乾蝕刻沒有液態的蝕刻溶液，主要分為物理濺擊或離子銑削、電漿蝕刻、與介於兩者之間 ... 最常用的蝕刻方式，其以氣體作為主要的蝕刻媒介，並藉由電漿能量來驅動反應。

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