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4W-LIBE 4W-LISE 4W-LIME 離子蝕刻系統 - 伯東國際通商 ...

離子蝕刻. 4W 離子蝕刻系統操作原理. 利用具有準直特性之離子源，以類似噴砂的效果 ... 通入反應性氣體，如O2、NF3、SF6或其他化學氣體等，則會有化學反應的蝕刻效果。

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