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微機電製程應用於薄膜體聲波元件之研究Fabrication of thin film ...

2.3 反應性射頻磁控濺鍍原理 ... 圖4-5 反應離子式蝕刻對SiNX 薄膜之蝕刻時間與蝕刻深度關係 ... 性，及空腔蝕刻所使用之蝕刻製程，另外介紹FBAR 之原理；.

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