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【製程設備】總覽與收費標準 - 清華大學

送件時請詳細註明欲蝕刻之種類及厚度，並於代工申請單上繪畫wafer 剖面圖。 回設備總覽. Page 31. 介電層反應離子蝕刻系統（Dielectric RIE ...

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