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反应离子刻蚀 - 微纳加工和器件公共实验室

原理 ：. 在反应离子刻蚀中，气体放电产生的等离子体中有大量化学活性的气体离子，这些离子与材料表面相互作用导致表面原子产生化学反应，生成可挥发产物。

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