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奇妙的電漿與電漿的應用 - 國家實驗研究院

... 氣相沉積；蝕刻製程的乾式蝕刻與佈植技術方面，都是用電漿原理來實現半導體的製程，而其中佈植領域的電漿浸潤式離子佈植(簡稱:PIII) 就是半導體製程的換膚手術。

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