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【光刻百科】反應離子刻蝕Reactive ion etching, RIE

反應離子 腐蝕技術是一種各向異性很強、選擇性高的幹法腐蝕技術。它是在真空系統中利用分子氣體等離子來進行刻蝕的，利用了離子誘導化學反應來實現各向 ...

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