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反應離子蝕刻原理
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反應式離子蝕刻機(Reactive Ion Etcher, RIE) - 電漿與薄膜科技 ...
儀器原理:. 在半導體製程中,蝕刻(Etch)被用來將某種材質自晶圓表面上移除。蝕刻通常是利用 ...
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