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【刻蚀】反应离子刻蚀Reactive ion etching, RIE - 芯制造 ...

反应离子 腐蚀技术是一种各向异性很强、选择性高的干法腐蚀技术。它是在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，利用了离子诱导化学反应来实现各向 ...

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