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半導體製程技術 - 聯合大學

過蝕刻. ▫ 薄膜厚度和蝕刻速率並不均勻. ▫ 過蝕刻: 移除剩餘的薄膜. ▫ 被蝕刻薄膜和基片材料之間的選擇性. ▫ 反應式離子蝕刻使用光學測定來轉換主蝕刻到過蝕刻 ...

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