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反應離子蝕刻 - 軟體兄弟

反應離子蝕刻,反應性離子蝕刻法（Reactive Ion Etch，RIE），介於濺擊. ... 介紹【蝕刻原理】 在半導體製程中，蝕刻（Etch）被用來將某種材質自晶圓表面上移除。

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