半導製程原理與概論Lecture 8. 蝕刻技術. (Etching). 嚴大任助理教授 ... 是0.40μm/min, 氧化膜對矽的蝕刻選擇比為25比1, 如果 ... 學腐蝕反應,而正離子在蝕刻物.
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