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4、干法蝕刻(dry etch)原理介紹 - 人人焦點

前面已經簡單介紹干法蝕刻的基本過程，這一節深入介紹干法蝕刻的基本原理，包括物理蝕刻，化學蝕刻，和反應離子蝕刻。 物理蝕刻主要是用plasma轟擊wafer表面，粒子與 ...

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