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乾式蝕刻電漿 - YUMK

離子 轟擊• 電漿製程的應用電漿蝕刻反應室• 重度離子轟擊產生大量的熱量• ... 2.3 電漿蝕刻原理室溫下氮化鎵化學性質穩定且大部分不溶於一般蝕刻液， ...

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