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銅膜之化學機械研磨製程應力作用對磨潤化學反應速率之影響

於化學部份我們計算速率常數及濃度分佈，之後便可得到銅膜之化學反應速率。 ... 我們還必須藉由實驗得到銅膜與研磨液發生化學反應所需之活化能（Activation energy）及 ...

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