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半導體製程設備 - 第 288 頁 - Google 圖書結果

以上幾種乾蝕刻之特性比較,如表 7.1 所示表 7.1 乾蝕刻製程之特性比較電漿蝕刻反應離子蝕刻濺擊蝕刻蝕刻機桶式平面式反應離子反應離子束蝕刻機蝕刻機離子束研磨晶圓 ...

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