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反應式離子蝕刻機— 國立成功大學- 電漿蝕刻

而導體蝕刻製程可精確形成電晶體這類的關鍵電子元件，介電層蝕刻則可形成保護導電部分的絕緣結構。 電漿表面蝕刻Plasma Etching 原晶半導體設備股份有限公司; A 使用含硫 ...

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