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電漿深蝕刻設備及其製程技術- 電漿蝕刻原理

反應式離子蝕刻機 — 國立成功大學. 電漿蝕刻原理. 干蚀刻：利用不易被物理、化学作用破坏的物质光阻来阻挡不欲去除 ...

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