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反应离子刻蚀机( RIE ) - 湖南艾科威半导体装备有限公司

反应离子 刻蚀机( RIE ) 设备概述反应离子刻蚀（RIE）是利用射频放电使反应气体电离产生活性离子，利用活性离子与工件表面材料进行化合生成挥发性产物被真空泵抽走， ...

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