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SAMCO-10NR 機台操作手冊

反應離子蝕刻 （Reactive Ion Etch）. SAMCO-10NR 機台操作手冊. 撰寫人：林幹恆. 整個RIE 機台操作共可分成四大部分. 1. 使用前的檢查主要是確認時間、溫度、冷卻 ...

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