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半导体蚀刻RIE 反应离子蚀刻简介

反应离子蚀刻 (MKS官网) Reactive Ion Etching 反应离子蚀刻反应离子蚀刻（以下简称RIE）使用了化学和物理反应来移除衬底表面的材料,它是能产生定向蚀刻的最基本工艺 ...

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