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電漿蝕刻原理: 反應離子刻蝕維基百科，自由的百科全書

應材也提供創新式的「乾式」移除製程，不需使用電漿，即可選擇性地移除各層薄膜材料。般而言，部分晶圓會在蝕刻時受到抗蝕刻「光罩」材料如光阻劑或 ...

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