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電漿蝕刻原理- 反應式離子蝕刻機部落格痞客邦 - Srh33

濕式蝕刻中為使用化學藥劑，經過化學反應以達到蝕刻之目的；乾式蝕刻為種電漿式蝕刻，其原理為電漿中離子撞擊試片的物理動作或者為電漿中的自由基與試 ...

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