可用於反應離子刻蝕RIE 不能很好刻蝕的材料. 自1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約500套離子蝕刻機. 蝕刻機可配置德國 Pfeiffer 渦輪分子泵和美國 KRI 考夫曼離子源!
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