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反應式離子蝕刻機RIE - ishien vacuum 部落格- 痞客邦

1.對低壓狀態下的容器內氣體施以電壓，會把氣體分子激發或解離成各種不同 · 2.這些離子是會對薄膜或晶圓產生反應，形成具揮發性（Volatile）的生成物 · 3.電 ...

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