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蝕刻技術

產生的離子及自由基，對晶圓上. 的材質進行物理式撞擊濺蝕及化. 學反應，來移除蝕刻部份。被蝕. 刻的物質變成揮發性的氣體，經. 抽氣系統抽離。以活性離子蝕刻. 為例 ...

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