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反應離子蝕刻機- airTMD

氧氣電漿表面蝕刻. 2.矽晶片蝕刻加工. 3.二氧化矽蝕刻加工. 4.氮化矽蝕刻加工 ... 反應式離子蝕刻機(RIE-1C). 1.氣體: CF4、O2. 2. 試片尺寸: < 4”.

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