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用於極紫外光微影之投影曝光裝置之照明光學件的場組合反射鏡

至少兩個場面可相對於彼此設置成繞垂直場組合反射鏡之基平面之軸，傾斜超過1°。 ... 原則上，可藉由傾斜Y約將個別場面18分派給瞳組合反射鏡7相關的瞳面。

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