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台積電3奈米真卡關？業界曝救命計畫 - 工商時報

此外，EUV機台透過特殊的反射鏡進行傳送，耗電量達深紫外光微影（DUV）機台10倍以上，來達到最後剩下2%的光能進行曝光，台積電透過機台程式修正， ...

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