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多通道顯微膜厚量測技術 - AOIEA 自動光學檢測設備聯盟

而目前廣泛被使用之膜厚量測技術為光譜反射式(Spectral ... 下，隨著膜層厚度的增加，反射率曲線的波峰(peak)數目增多，如圖3；且在相同膜厚的條件下，折.

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