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反射光譜儀
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光學膜厚量測系統-果昱企業股份有限公司
利用反射光譜儀分析反射光,來確定透明膜或半透明膜的膜厚及反射率. 反射光譜. 根據客戶需求專業設計設計規劃IN-LINE膜厚測量系統. 應用例:非多晶矽、CMP、電介質、 ...
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