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原子種類
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使用等离子体生成的原子种类作为消耗性生长抑制剂的超共形 ...
由远程等离子体源产生的氢原子或氮原子流强烈地抑制了特征开口附近的生长,可能是通过束缚悬空键。在沟槽中,由于壁反应,原子种类的通量随深度快速 ...
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