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半導體新創「埃爾思」連獲SBIR補助及天使投資 - 工商時報

傳統FIB的光源是液態金屬離子源，其光源尺寸約為50奈米，曾任職於中研院物理所多年的張維哲博士，主要研究方向便是發展新世代的單原子離子光源，其光源 ...

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