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超高真空離子束沈積碳/矽/碳多層奈米複合薄膜藉由熱退火機制 ...

... 平均密度分佈10 8 cm -2 的碳化矽元件製作，在元件應用往高密度的一個趨勢。 ... 因為碳的原子大小遠小於矽的原子大小(碳原子半徑：0.077 nm；矽原子 ...

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