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常用的鍍膜製程

離子 束輔助蒸鍍(Ion-Beam Assisted Evaporation) ... 真空中殘留氣體分子有機會在薄膜成長過 ... 低能量離子束(10-200 eV)對表面的作用範圍僅及於一或二個原子層，.

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