本實驗選擇南亞化工NANYA PET CH285 光學級薄膜,透光率91%、厚度188μm,而. 在光阻劑方面則使用光學折射率為1.55 的UV 光阻劑。 6.3 製程參數對微結構成形影響. 6.3.1 壓 ...
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