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99 年度電子半導體生產設備製造業原物料耗用通常水準

定義. 產品碼. 範圍. 半導體製程設. 半導體業生產製造等2928020 氧化、擴散、沉積、微影、 ... 累積精度(Cumulative Pitch Accuracy)：0.005/210 mm.

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