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何謂E84及E84運行機制

e84控制器的目的，是為了協助半導體工廠，解決大尺寸晶圓遷移的問題。未來的半導體工廠，將廣泛的使用自動化材料處理系統(AMHS) ，來轉移重量不斷增加的晶圓載體， ...

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