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我國半導體設備製造商資料庫之初步建構 - 管理學院

C 級設備模組之代表為蝕刻反應室之真空泵（vacuum pump）或. E-chuck，影響蝕刻製程的關鍵性能。D 級設備零組件之代表為反應室內之上. 極板，保證反應氣體的均勻性。E 級 ...

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