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CN101314845A - 半导体材料生长设备的独立mo源管路及应用
半导体 材料生长设备的独立MO源管路及应用,设有3-5路进气管路,其中一路为V族氮源管路,一路为III族金属源混合管路,其余各路为独立的III族金属源管路,各路不同的源 ...
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