Chroma 7980 3D晶圓量測系統主要整合白光干涉量測技術,進行非破壞性的12吋晶圓之3D關鍵尺寸量測。可進行待測物之關鍵尺寸(CD)、Overlay(OVL)及Thickness等量測需求,同時 ...
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